講演情報
[9a-N403-7]超高速時間分解SEMを用いた金属-半導体界面における空乏層形状変化の可視化
〇岡本 ニコライ 岳1、三浦 研介1、鄭 サムエル1、吉田 昭二1、藤田 淳一1、嵐田 雄介1 (1.筑波大数理)
キーワード：
走査電子顕微鏡、超高速現象、空乏層
超高速時間分解走査電子顕微鏡を用い、金属-半導体界面における空乏層の時間発展を43 psの時間分解能で可視化した。光照射後、空乏層が0.6 µm/nsで広がる様子を観測し、金属側と半導体側の電位変化を同時に捉えることに成功した。