講演情報
[9a-N403-8]走査電子顕微鏡の電子ビーム形状推定
〇早田 康成1、田中 満1 (1.筑波大数理)
キーワード：
電子顕微鏡、像シャープネス、ビーム形状
これまで、走査電子顕微鏡の試料上での電子ビームサイズを像シャープネスから推定する方法の研究を進めてきた。本研究では電子ビームの形状情報を得ることを目的として、ビーム形状をガウス関数とローレンツ関数をコンボリューションした関数と仮定してビーム形状の推定を行った。その結果、スルーフォーカスにより２つの関数の幅が変化することが明らかとなり、その傾向は装置の光学収差に起因する可能性があることが分かった。