講演情報
[9a-P01-15]縦型ダイヤモンドショットキーバリアダイオードのアンペア級動作
〇白髪 純也1,2、Sreenath Mylo Valappil1,2、吉武 剛2、大曲 新矢1 (1.産総研、2.九大院総理工)
キーワード：
ダイヤモンド、ショットキーバリアダイオード、アンペア級
ダイヤモンドSBDのパワーエレクトロニクス回路への実装に向け、基板内転位の抑制およびショットキーコンタクト拡大による高電流動作が求められている。本研究では、エピタキシャル成長時に貫通転位の抑制が可能な金属援用終端法を用いて直径1 mmサイズまでの縦型SBDを作製し、アンペア級動作を実現した。