2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[9a-P01-4]
機械学習による成膜DLC特性予測に関する研究 -ラマン分光スペクトルの推定精度評価-
〇樫村 直樹
1
、中村 聡
1
、小松 隆
1
、大越 康晴
2
(1.神大工、2.電機大理工)
キーワード:
スペクトル、ダイヤモンドライクカーボン、機械学習
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