講演情報
[9a-P02-13]Ce:YAPシンチレータとTiO2薄膜のハイブリッド型検出器による高エネルギー線の直接検出
〇丸山 祐樹1、Cadatal-Raduban Marilou2,3、日比野 孝太1、Kohout Michal4、山ノ井 航平3、Ponseca Jr. Carlito S.5、Hubička Zdenek4、Olejníček Jiri4、小野 晋吾1 (1.名工大、2.Unitec Institute of Technology、3.阪大レーザー研、4.Czech Academy of Sciences、5.Gulf Univ.)
キーワード：
検出器、シンチレータ、真空紫外光
波長100-250 nmの深紫外光や真空紫外光(VUV)は、半導体基板の洗浄など、幅広い分野で応用されている。このような短波長領域での技術開発の進展に対応するためには、検出器の開発が必要不可欠である。本研究では、Ce:YAPシンチレータを基板としてTiO2薄膜を堆積した、ハイブリッド型検出器の開発を試み、熱処理によってハイブリッド型検出器の光感度を大幅に向上させたため、これについて報告する。