講演情報
[9a-P02-20]TiO2/Cu光触媒薄膜の光触媒効果に及ぼすアニール処理のにおける雰囲気ガスの影響
〇(M2)伊藤 龍斗1、鷹野 一朗2 (1.工学院大院、2.工学院大工)
キーワード：
光触媒、反応性スパッタリング、積層型薄膜
我々はTiO2の下層にCu層を挿入することで光触媒効果の向上を確認した。本研究では、高効率化がCu層の表面プラズモン共鳴により生じるホットキャリアと考え，アニール処理における雰囲気ガス種を変化させることでTiO2の欠陥制御による影響を調査した。その結果、2時間真空アニール処理を施した試料では光触媒効果が向上し、酸素雰囲気下でアニール処理を施した試料では銅が表面まで拡散し、効率の低下が確認された。