2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[9a-P02-24]
NaF添加Cu/CuO混合ターゲットを用いてDCスパッタにより形成したCu
2
O薄膜の特性評価
〇(M1C)畑川 健勝
1
、関口 晨雄
1
、宮島 晋介
1
(1.東京科学大学工学院)
キーワード：
Cu2O、スパッタ、混合ターゲット
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