[9a-P03-1~6] 6.5 表面物理・真空

[9a-P03-1] プラズマ浸漬格子ターゲット法による超撥水性酸化アルミニウム薄膜作製に関する研究

佐野 翼¹、山﨑 悠生¹、渡邊 初男¹、〇内藤 正路¹、碇 智徳² (1.九工大院工、2.宇部高専)

キーワード：

超撥水性薄膜、プラズマ浸漬格子ターゲット法、酸化アルミニウム