講演情報
[9a-P04-21]MEMS技術を利用した薄膜熱特性測定技術の検討
〇山田 義春1、筧 芳治1 (1.大阪技術研)
キーワード：
薄膜
持続可能な社会の実現に向けて熱電発電や熱流制御技術への期待が高まっている。このため、薄膜材料の熱特性を精密に測定する技術が求められている。しかし、薄膜材料の測定においては、基板の影響が大きいため、特に熱伝導率の測定は容易ではない。本研究では、熱容量が非常に小さいというダイアフラム構造の特徴を活かした、薄膜の熱特性を簡便に測定する手法について検討したので報告する。