講演情報
[9a-P04-6]非破壊可逆電気コンタクトプローブとその利用
〇吉武 道子1 (1.NIMS)
キーワード：
電気コンタクト、非破壊、使用例
AFMにおける非破壊測定である弾性変形領域の圧力を，精密な制御無しに目視で調整できるソフトプローブを開発・特許化し，標準サイズは市販されている。これを用いると，脆い材料を破壊せずに電気特性測定や電圧印加を行うことができ，蒸着により電極形成すると蒸着金属が試料内部に潜り込んでしまうSAM膜やポーラスな試料でも電極金属が試料内部に潜り込む心配はない。その原理と、様々な方々に使用いただいた例を紹介する。