[9p-N103-1~12] 軟Ｘ線多層膜が拓く短波長Beyond EUVリソグラフィー技術

13:30 〜 14:00

[9p-N103-1] EUVリソグラフィーと軟X線多層膜

〇木下 博雄¹ (1.兵庫県立大学)

キーワード：

極端紫外線リソグラフィー、波長選択、短波長化

紫外線の短波長化は、G-i-KrF-ArFと進められ、F2も提案されたが、透過型でのシステム構成が材料的に無理となった。Ｘ線等倍の反省から1984年からX線縮小露光を模索し、反射型光学系を構築する多層膜を調べたところ、Mo/Si多層膜が反射率が高く取れることから、EUV波長として13.5nmを決めた。Beyond EUVでも多層膜の半値幅増が実用化の課題となろう。