講演情報
[9p-N103-9]斜入射aplanatic対物系に適した400eV領域用多層膜ミラーの開発
脇 俊太郎1、原田 哲男2、〇豊田 光紀1 (1.東京工芸大工、2.兵庫県立大高度研)
キーワード：
多層膜ミラー、水の窓
斜入射光学系に好適な400eV(波長3.1nm)領域用の多層膜ミラーの検討と試作を行った結果を報告する。光子エネルギーE=397eV、および、入射角φ=60deg.の条件で高反射率が期待できる３種の物質対(Sc/Si, Sc/Mg, Sc/Cr)をマグネトロンスパッタ装置で試作した。次に、試作した３種のミラーの反射率スペクトルを放射光施設(NewSUBARU)に設置された軟X線反射率計により実測した。Sc/Cr多層膜ミラーでは、波長3.1nmにおいてR=34%の高い反射率を確認できた。