講演情報
[9p-N107-6]水素化／脱水素化反応にともなう金属-半導体相変化による光・電気・熱・物性制御薄膜の開発 (1): 透明導電膜の電気・熱伝導から熱スイッチの開発まで
〇重里 有三1 (1.青学大理工)
キーワード：
金属-半導体相変化、調光ミラー薄膜、熱スイッチ
様々な透明導電性酸化物は成膜条件を工夫することで数桁以上の幅で電気伝導度を制御することができる。これらの熱伝導度は自由電子、並びにフォノンによるものとして理解できる。金属と半導体の間で可逆的に相変化する材料を用いることで、大きな幅で光学・電気・熱特性を制御できる薄膜や電気・熱制御デバイスの作製が可能である。温度変化や水素化／脱水素化反応によるものとしてVO2や調光ミラー薄膜に関して報告する。