講演情報
[9p-N201-9]ストレインエンジニアリングによるc軸配向BaTiO3薄膜の電気光学効果の向上
〇(M1)澤木 陽向1、近藤 真矢1、山田 智明1,2 (1.名大工、2.科学大MDX)
キーワード：
強誘電体薄膜、チタン酸バリウム、電気光学効果
大きなEO係数を有するBaTiO3を薄膜とすることで、省電力な光変調器に応用出来るとして注目を集めている。報告されているBaTiO3のa1/a2ドメイン構造よりもEO係数を効率的に利用するために、cドメイン構造にすることで報告されているEO係数よりも向上させることが出来た。また、理論計算によって求められた最適な歪みによりEO係数を向上させることを考えた。そのため、異なる基板上に成膜したBaTiO3のEO係数評価についても報告する。