講演情報
[9p-N202-16]SiN マイクロリング波長選択スイッチを集積したSLGビームスキャナ
〇小松 慶喜1、玉貫 岳正1、鎌田 幹也1、馬場 俊彦1 (1.横国大院工)
キーワード：
SiN、マイクロリング共振器、シリコンフォトニクス
我々はSiN導波路と熱光学式マイクロリング共振器（MRR）を用いた低損失スイッチを開発し、非メカ式FMCW LiDARの2次元スキャンに適用した。従来のMZI光スイッチによる高損失を4dBまで低減し、全8個のMRRでSLGの選択動作を実証した。今後はビーム走査とLiDAR動作を予定している。