講演情報
[9p-N301-18]PCAを用いたInGaN量子井戸CL発光空間構造の解析
〇(M2)福 隆之介1、赤瀬 善太郎1、岩満 一功1、冨谷 茂隆1 (1.奈良先端大)
キーワード：
カソードルミネッセンススペクトルイメージング、主成分分析、窒化インジウムガリウム
InGaNはインジウム(In)の組成比を変化させることで、発光波長を広範囲にわたって変化でき、マイクロLEDディスプレイ等の発光デバイスに応用される。一方、In組成比の微小な揺らぎ・結晶欠陥の存在が、発光効率の低下やデバイス劣化を引き起こす。本研究では、InGaN三重量子井戸構造に対してカソードルミネッセンススペクトルイメージング（CL-SI）を測定し、そのデータを主成分分析(PCA)によって空間分布変化を可視化した結果について報告する。