講演情報
[9p-N302-1]ハイスループットX線トポグラフィ装置のSPring-8 BL16B2への導入
〇志村 考功1,4、梶原 堅太郎2、亀島 敬2,4、山口 聡3、大坂 泰斗4、矢橋 牧名4 (1.早大IPS、2.JASRI、3.豊田中研、4.理研RSC)
キーワード：
X線トポグラフィ、転位、イメージング
X線トポグラフィは、単結晶中に存在する結晶欠陥の実空間分布を非破壊で可視化できる手法であり、単結晶成長のプロセス評価や単結晶を用いる多様な応用分野において、長年にわたり活用されている。我々は広視野かつ高空間分解能での測定を実現するX線トポグラフィ装置を検討・開発し、SPring-8 BL16B2に導入した。本発表では、本装置の仕様と初期測定結果について報告する。