[9p-N302-1~6] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥 | 2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)15 結晶工学：15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[9p-N302-1~6]15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2025年9月9日(火) 13:30 〜 15:00

N302 (共通講義棟北)

13:30 〜 13:45

[9p-N302-1]ハイスループットX線トポグラフィ装置のSPring-8 BL16B2への導入

〇志村考功^1,4、梶原堅太郎²、亀島敬^2,4、山口聡³、大坂泰斗⁴、矢橋牧名⁴ (1.早大IPS、2.JASRI、3.豊田中研、4.理研RSC)

13:45 〜 14:00

[9p-N302-2]深いX線トポグラフィーによる4H-SiCの貫通らせん転位の傾斜構造の解析

〇石地耕太朗¹、米山明男¹、鎌田功穂² (1.九州シンクロ、2.電中研)

14:00 〜 14:15

[9p-N302-3]Study on the Surface Wettability of Major SiC Crystal Polytypes

〇JungGon Kim¹, Gyeong-jun Song¹, Na-keoung Kim¹, Chan-ho Park¹, Dae-uk Kim¹, Mi-seon Park¹, Kwang-hee Jung¹, Won-jae Lee¹, Woo-Sik Yoo² (1.Dong-Eui University, 2.WaferMasters, Inc.)

14:15 〜 14:30

[9p-N302-4]シリコン結晶基板の品質と点欠陥: ルネッサンス (14) 点欠陥に対する熱内部応力効果

〇井上直久¹、川又修一¹、奥田修一¹ (1.大阪公大放射線研究センター)

14:30 〜 14:45

[9p-N302-5]シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学/ルネッサンス第二世代 (27) VNs

〇井上直久¹、川又修一¹、奥田修一¹ (1.大阪公大放射線研究センター)

14:45 〜 15:00

[9p-N302-6]シリコン結晶中の低濃度炭素の測定/ルネッサンス (31)電子線誘起CiOi,CiCsの挙動とフォトルミネッセンス

〇井上直久¹、奥田修一¹、川又修一¹ (1.大阪公大放射線研究センター)

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