2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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14:00 〜 14:15
[9p-N303-3]
ダイヤモンドNVセンターを用いたグラフェンFETの電流磁場分布測定
〇(D)西原 一樹
1
、吉川 颯真
1
、秋田 成司
1
、有江 隆之
1
(1.大阪公立大学大学院工)
キーワード:
量子センシング、グラフェン、FET
ダイヤモンドNVセンターを用いた電流磁場測定により、Si基板上のグラフェンFET電極内の電流磁場分布を可視化した。簡便な構成で既存デバイスに適用可能であり、今後チャネル内の詳細評価への展開が期待される。
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