講演情報

[9p-N307-3]Heterodyne Pump-Probe 位相変調 ケルビンプローブ力顕微鏡法を用いたPNパターンシリコンの計測

〇向井 優斗1、菅原 康弘1 (1.阪大院工)

キーワード:

ケルビンプローブ力顕微鏡