講演情報

[9p-N321-16]高温アニールしたAlN上への超伝導体NbNx薄膜の作製と評価

〇加藤 雄貴1、原田 尚之2、三宅 秀人3、池田 和久1、小林 篤1 (1.理科大院先進工、2.NIMS、3.三重大院工)

キーワード:

超伝導体