講演情報
[9p-N324-3]高速フィルタードアーク蒸着装置における陰極近傍磁界分布の調整とAlCr陰極点運動
〇大根田 みらの1、佐野 絃貴1、越智 将伍1、佐野 春1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)
キーワード：
ステアド法、窒化アルミクロム、真空アーク蒸着
ドロップレットフリーのAlCrN膜を作製するため，ステアド (Steered arc) 法を用い，陰極上を回転する陰極点を高速回転させることにより陰極の過加熱を防止することで，ドロップレット削減を実現している。本研究では陰極点走行位置の変化を目指し，磁界測定を実施した。結果，陰極近傍の磁界分布が変化したことを確認した。陰極表面での磁界のバランス点位置を変化させることが出来たため，走行半径を小さくすることが出来ると考えている。