セッション詳細

[9p-N324-1~19]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2025年9月9日(火) 13:30 〜 18:30
N324 (共通講義棟北)

[9p-N324-1]酸化亜鉛ナノ粒子への大気圧低温空気プラズマ支援アニーリング効果

〇高木 尚哉1、川上 烈生1、柳谷 伸一郎1,2、中野 由祟3、新部 正人4 (1.徳島大理工、2.徳島大pLED、3.中部大、4.東京大物性研)

[9p-N324-2]R. F. プラズマ処理を施したPTFEのPL発光強度に及ぼすArガス圧の影響

〇(B)茂木 良樹1、黒木 雄一郎1 (1.サレジオ高専)

[9p-N324-3]高速フィルタードアーク蒸着装置における陰極近傍磁界分布の調整とAlCr陰極点運動

〇大根田 みらの1、佐野 絃貴1、越智 将伍1、佐野 春1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))

[9p-N324-4]TiN膜高速生成用真空アーク蒸着システムにおける放電時の圧力変化

〇越智 将伍1、大根田 みらの1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技術科学大学、2.オーエスジー(株))

[9p-N324-5]BN/Si構造における電荷捕獲領域の同定

〇小口 尚輝1、朝本 雄也1、野間 正男2、長谷川 繁彦3、山下 満4、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.神港精機、3.阪大産研、4.兵庫県立工技センター)

[9p-N324-6]反応性HiPIMS法によるGaN薄膜形成と内部応力への影響

〇(M1)苅込 香希1、板東 廣朗2、常盤 美怜2、上岡 義弘2、三崎 日出彦2、召田 雅実2、清水 徹英1 (1.都立大院SD、2.東ソー(株))

[9p-N324-7]マルチ短パルスHiPIMSのDLC成膜応用と発光分光測定

〇石川 開大1、尾関 健太1、木村 高志1 (1.名工大院工)

[9p-N324-8]HiPIMSに低電力パルススパッタを重畳した手法による酸化バナジウム膜作成と発光分光測定

〇衣川 純平1、安藤 俊輔1、是永 武瑠1、木村 高志1 (1.名工大院工)

[9p-N324-9]HiPIMS 放電における選択的イオン加速技術を用いた 重元素イオン衝撃に伴う運動量変換の定量評価

〇(M1)渡部 里菜1、西村 風香1、陳 爾東1、清水 徹英1 (1.都立大SD)

[9p-N324-10]スパッタリングによるMoSX負極膜の構造制御とLiイオン電池への応用

〇坂口 浩貴1、長谷川 祥之1、上田 竜雄1、寺田 圭吾1、藤掛 大貴1、村瀬 瑠汰1、山崎 稜介1、内田 儀一郎1,2 (1.名城大学理工、2.名城大エネセンター)

[9p-N324-11]大気圧PECVD法によるリチウムイオン電池用厚膜Si負極の高能率形成

〇広本 恒輝1、ハムゼンス アフィフ1、ナウファル ファレルザウダン1、榎本 光希1、大参 宏昌1、垣内 弘章1 (1.阪大院工)

[9p-N324-12]プラズマ化学気相堆積法による二段階プロセスを用いた窒素ドープダイヤモンド薄膜合成における第一成長層の影響

〇(M1C)米原 由翔1、竹田 圭吾1、平松 美根男1 (1.名城大理工)

[9p-N324-13]大気圧VHFプラズマを用いた透明基材用反射防止コーティングの形成プロセスの研究

〇水澤 直人1、Leapheng Uon1、小野 結己1、大参 宏昌1、垣内 弘章1 (1.阪大院工)

[9p-N324-14]TiO2/Au/TiO2/Au多層構造における金ナノ粒子プラズモン共鳴誘起光触媒活性強化

〇井上 朋也1、宮路 裕貴1、川上 烈生1、柳谷 伸一郎1,2、白井 昭博2,3、コインカー パンカジ1、古部 昭広1,2、中野 由祟4、新部 正人5 (1.徳島大理工、2.徳島大pLED、3.徳島大生資、4.中部大工、5.東京大物性研)

[9p-N324-15]ナノシートチャネルトランジスタに向けた窒素ラジカル後処理によるゲートスタック界面構造変化の解明

〇矢野 瑞紀1、城戸 ほの佳1、雪屋 遼馬1、近藤 博基1 (1.九大シス情)

[9p-N324-16]定電流ストレスによるHigh-kゲート絶縁膜の劣化に対する窒素ラジカル後処理の効果

〇(M1)城戸 ほの佳1、矢野 瑞紀1、雪屋 遼馬1、近藤 博基1 (1.九大シス情)

[9p-N324-17]トンネルリーク電流の極性依存性解析によるPE-CVD SiO2のプラズマ誘起ダメージ評価

〇(M1)関 馨1、黒沼 舜也1、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工)

[9p-N324-18]プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ~コンタクトホールアスペクト比の効果~

〇布村 正太1、菊池 拓哉2、鈴木 陽香2、豊田 浩孝2 (1.産総研、2.名大)

[9p-N324-19]プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ~酸化膜のクライオエッチング~

〇布村 正太1、今井 祐輔2、HSIAO Shih-Nan2、堤 隆嘉2、堀 勝2 (1.産総研、2.名大)