講演情報
[9p-N402-5]瞳分割偏光イメージングによる異方性表面テクスチャの観察
〇筒井 宣匡1,2、吉木 啓介1、池上 浩1 (1.高知工大総研 D-Future、2.株式会社デンケン)
キーワード：
瞳分割偏光技術、偏光モード変換器、ナノマシンビジョン
ECB液晶素子を用いた瞳分割偏光計測装置により，試料表面の異方性テクスチャに対する感度を柔軟に変化させる複数モード観察を実現した．同軸照明カメラに装着した複数セグメントから成るECB液晶素子の各複屈折率位相差を電圧印可により個別制御することで，瞳分割パターンを切替え感度に異方性を持たせることができる．実験では，金属表面の一様方向の加工痕の感度を抑制し，特定方位に製作後に形成された傷を抽出することができた．