講演情報
[9p-N403-1]転写モールド法微小突起型陰極アレイによる誘電体バリア放電特性評価
〇(M2)磯谷 隆斗1、文 宗鉉1、根尾 陽一郎1 (1.静岡大電研)
キーワード：
転写モールドエミッタアレイ作製方法、微小突起型陰極アレイ、誘電体バリア放電
陰極の表面形状を微小突起型に成形することで、高効率な紫外線源の実現を目指す。その有効性を検証するため、微小突起型陰極を有するデバイスと、比較対象である従来の平面型陰極を有するデバイスを試作し、両デバイスの放電電荷量を比較して、さらに等価回路モデルを用いてその電気的挙動を評価した結果を報告する。