2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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14:15 〜 14:30
[9p-N403-4]
電界誘起酸素エッチングによるNb tipの先鋭化
〇堀川 愁斗
1
、志摩 惇紀
1
、岩田 達夫
1
、永井 滋一
1
(1.三重大院工)
キーワード：
電界誘起酸素エッチング
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