[9p-N405-1~18] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[9p-N405-12] 薄膜生成過程におけるプルーム画像の解析

〇(B)中尾 匠冶¹、八谷 達磨¹、堀尾 恵一^1,5、一野 祐亮^3,5、一瀬 中^4,5、堀出 朋哉^2,5、松本 要^2,5、吉田 隆^2,5 (1.九工大、2.名大、3.愛工大、4.電中研、5.JST-CREST)

キーワード：

機械学習、プルーム、LightGBM

薄膜生成過程におけるプルーム画像の解析を行った。生成に使用した材料と酸素分圧、レーザー強度によるプルームの色情報に関する特徴抽出を目的とする。今回はLightGBMを用いた分類問題を経て、モデルの予測プロセスを見ることで各条件での特徴抽出を図った。