講演情報
[9p-N405-9]自己配向LaNiO3を利用したSi基板上へのc軸配向YBa2Cu3O7-x薄膜堆積(3)
〇(M1C)三田 祐1、中村 匡佑1、島村 一利1、河原 正美2、長尾 雅則3、川江 健1 (1.金沢大理工、2.（株）高純度化学研究所、3.山梨大)
キーワード：
超伝導、YBCO
YBa2Cu3O7-x薄膜を堆積させる基板材料に対する自由度の向上を念頭に、自己配向成長を示すLaNiO3薄膜をテンプレート層としたSi基板上でのYBCO薄膜の作製を試みている。今回、LNO層からのNi拡散がYBCO層の結晶性や超伝導特性を劣化させている可能性に着目し、Ni拡散抑制を目的とした、SrRuO3緩衝層を新たに導入したYBCO/SRO/LNO/Si Sub.多層構造を形成し、結晶性及び超伝導特性を評価した。