[9p-N406-1~13] 1.6 超音波

13:00 〜 13:15

[9p-N406-1] SMR型弾性波デバイスの音響反射多層膜の評価に関する検討

〇大橋 雄二¹、櫛引 淳一²、戸津 健太郎²、鈴木 雅視³、垣尾 省司³、神 翔太⁴、横尾 和希⁴、伊東 孝洋⁴ (1.秋田県大、2.東北大、3.山梨大、4.ジオマテック)

キーワード：

SMR型弾性波フィルタ、音響反射多層膜

SMR型デバイスの音響反射多層膜についてSiO₂膜/Ta₂O₅膜およびSiO₂膜/Al₂O₃膜の多層膜を取り上げて作製し、共振特性から多層膜の評価を検討した。Al₂O₃/SiO₂多層膜の方が、アドミッタンス比やQ値が大きく、温度特性も優れており、より性能の良いSMRが構築できる可能性が高いことを明らかにした。