2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[9p-P07-4]
SiO
2
上に形成したNi-Silicideナノシートによる水素センシング
〇渡邉 諒太
1
、服部 直輝
1
、牧原 克典
2
、一野 祐亮
1
、清家 善之
1
、森 竜雄
1
、田岡 紀之
1
(1.愛知工大、2.名大院工)
キーワード:
分子センサ、ニッケルシリサイド、ナノシート
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