講演情報

[9p-P08-2]BGaN中性子検出器における基板off角がデバイス性能に及ぼす影響

〇斎藤 僚太1、工藤 涼兵1、櫻井 辰大1、小久保 瑛斗2、若林 源一郎3、本田 善央4、天野 浩4、井上 翼1、青木 徹5、中野 貴之1,5 (1.静大院工、2.名大院工、3.近大原研、4.名大 IMaSS、5.静大電研)

キーワード:

BGaN、基板オフ角、中性子検出器