2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[9p-P08-2]
BGaN中性子検出器における基板off角がデバイス性能に及ぼす影響
〇斎藤 僚太
1
、工藤 涼兵
1
、櫻井 辰大
1
、小久保 瑛斗
2
、若林 源一郎
3
、本田 善央
4
、天野 浩
4
、井上 翼
1
、青木 徹
5
、中野 貴之
1,5
(1.静大院工、2.名大院工、3.近大原研、4.名大 IMaSS、5.静大電研)
キーワード:
BGaN、基板オフ角、中性子検出器
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