2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

[9p-P09-10]材料利用効率向上のための回転マグネトロンRFスパッタ装置の開発

〇梅田 姫子1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)

キーワード：

プラズマ

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る