[9p-P09-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-P09-10] 材料利用効率向上のための回転マグネトロンRFスパッタ装置の開発

〇梅田 姫子¹、大津 康徳¹ (1.佐大院理工)

キーワード：

プラズマ