セッション詳細

[9p-P09-1~17]8.1 プラズマ生成・診断

2025年9月9日(火) 16:00 〜 18:00
P09 (体育館)

[9p-P09-3]DCグロー放電の外側領域に形成される定在縞の微細構造:電流-電圧特性

〇古屋 謙治1,2 (1.九州大基幹、2.九州大院総理工)

[9p-P09-4]DCグロー放電の外側領域に形成される定在縞の微細構造:微粒子を用いた観測と形状制御

〇坂井 星軌1、古屋 謙治1,2 (1.九州⼤院総理⼯、2.九州⼤基幹)

[9p-P09-6]水素ガス低圧下における高密度RFホロー磁化プラズマの生成

〇(M1)後藤 尚久1、大津 康徳1 (1.佐賀大理工)

[9p-P09-10]材料利用効率向上のための回転マグネトロンRFスパッタ装置の開発

〇梅田 姫子1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)

[9p-P09-11]深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光分光分析を用いた生成Ti粒子のイオン化率の解析

〇横山 英佐1,2、中川 悠幹2、小林 宏輝2、西宮 信夫2、實方 真臣2、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.サレジオ高専、2.東京工芸大工、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)

[9p-P09-12]深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における
飛行時間質量分析法を用いたエネルギー分解時間発展計測

〇(M2)小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1,2、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)

[9p-P09-13]多方向画像取得によるプラズマ発光およびシース構造の三次元再構築

〇鈴木 陽香1,2、泉 涼太1、吉川 隼人1、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

[9p-P09-14]カーリングプローブによる電子温度計測の実現性

〇田島 悠聖1、安藤 舜1、小松 哉太1、中村 圭二1、小川 大輔1 (1.中部大工)

[9p-P09-15]誘導結合型BF3プラズマ内におけるB原子の空間分布計測

〇佐藤 颯斗1、武村 海1、竹田 圭吾1 (1.名城大理工)

[9p-P09-16]吸収分光法を用いた誘導結合BF3-Arプラズマ中のB原子密度の測定

〇(M1C)武村 海1、佐藤 颯斗1、竹田 圭吾1 (1.名城大理工)

[9p-P09-17]低圧誘導結合型プラズマより照射された酸素原子の基材表面分布の計測

〇(M2)南谷 将平1、竹田 圭吾1 (1.名城大理工)