セッション詳細
[9p-P09-1~17]8.1 プラズマ生成・診断
2025年9月9日(火) 16:00 〜 18:00
P09 (体育館)
[9p-P09-11]深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光分光分析を用いた生成Ti粒子のイオン化率の解析
〇横山 英佐1,2、中川 悠幹2、小林 宏輝2、西宮 信夫2、實方 真臣2、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.サレジオ高専、2.東京工芸大工、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
[9p-P09-12]深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における
飛行時間質量分析法を用いたエネルギー分解時間発展計測
〇(M2)小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1,2、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
[9p-P09-13]多方向画像取得によるプラズマ発光およびシース構造の三次元再構築
〇鈴木 陽香1,2、泉 涼太1、吉川 隼人1、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)