[9p-P09-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-P09-14] カーリングプローブによる電子温度計測の実現性

〇田島 悠聖¹、安藤 舜¹、小松 哉太¹、中村 圭二¹、小川 大輔¹ (1.中部大工)

キーワード：

プラズマ計測、電子温度、カーリングプローブ

本発表ではこの計算による結果を踏まえて、プローブ周辺のバイアスによる共振周波数の挙動を調査し、実際にカーリングプローブによる電子温度計測の可能性について報告する。