[9p-P09-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-P09-16] 吸収分光法を用いた誘導結合BF₃-Arプラズマ中のB原子密度の測定

〇(M1C)武村 海¹、佐藤 颯斗¹、竹田 圭吾¹ (1.名城大理工)

キーワード：

プラズマ診断、プラズマドーピング、半導体

本研究はホローカソードランプ(HCL)を光源とした吸収分光法を用いて、誘導結合BF₃-Arプラズマ中のB原子密度を測定することで、プラズマの内部状態についての知見を得ることを目的としている。
実験によって得られたB原子密度の各種パラメータ依存性と、プラズマシミュレーションとの比較について発表を行う。