[9p-P09-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-P09-8] 円筒型AZOターゲットを用いたマルチホロー磁化RFスパッタ装置の開発

〇山縣 実¹、大津 康徳¹ (1.佐大院理工)

キーワード：

プラズマ、AZO