[14p-K101-1~7] IoT社会への進展を支える半導体産業のコア技術～融合と多様化～

15:30 〜 16:00

[14p-K101-5] AI・IoT応用のためのMEMSマイクロフォンの開発

〇口地 博行¹ (1.日清紡マイクロデバイス株式会社)

キーワード：

センサー、MEMS、マイク

MEMSマイクロフォンは、スマートフォンやAIスピーカなど様々な電子機器で広く使用されているが、AIの進歩とIoTの普及により、最近では音声入力用途以外でも利用され、自動車や医療機器、工業用途などでも需要が高まっている。MEMSマイクロフォンの新たな応用領域では高信号対雑音比に加えて超低周波領域や超音波領域の感度や堅牢性が求められ、その実現のために開発が進められており、最新のMEMSマイクロフォン研究について紹介する。