2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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[15p-P07-50]
数層六方晶窒化ホウ素の化学気相成長と磁気トンネル接合素子への応用
〇江本 暁
1
、楠瀬 宏樹
1
、益田 純奨
1
、深町 悟
1
、Yung-Chang Lin
2
、Haiming Sun
3
、末永 和知
3
、木村 崇
4,5
、吾郷 浩樹
1,5
(1.九大院総理工、2.産総研、3.阪大産研、4.九大院理、5.九大半導体セ)
キーワード:
磁気トンネル接合素子、六方晶窒化ホウ素、トンネル磁気抵抗
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