講演情報

[16a-K401-5]III族極性InNのMOVPE成長における結晶成長相図

〇山下 雄大1、熊倉 一英1、平間 一行1、谷保 芳孝1 (1.NTT物性研)

キーワード:

窒化インジウム、MOVPE成長