[16p-P05-1~20] 12.2 評価・基礎物性

[16p-P05-12] 電荷変調分光法を用いた有機薄膜トランジスタ内のチャネル形成に関する評価

〇中村 智之¹、田口 大¹、間中 孝彰¹ (1.科学大工)

キーワード：

ペンタセン、有機薄膜トランジスタ、電荷変調分光法

有機FETにおいてチャネルが絶縁膜と半導体の界面に形成される過程はMaxwell-Wagnerモデルによって説明されてきたが，これはチャネルの厚さについて説明することができない．本研究は，注入されたキャリアによる反射率変調の測定を行う電荷変調分光法を用いて，得られた変調スペクトルから有機FETのチャネル厚さに対する評価を行うことを目的とする．