[16p-P08-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

[16p-P08-2] 水熱合成法を用いた(100)BaTiO₃膜の低温成膜

〇(B)是枝 美帆¹、島 宏美¹、増田 達也²、森分 博紀²、内田 寛³、江原 祥隆¹ (1.防衛大、2.JFCC、3.上智大)

キーワード：

水熱合成法、誘電体酸化物薄膜、低温プロセス