[17a-K310-1~9] 15.1 バルク結晶成長

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[17a-K310-6] 動的応答のサロゲートモデリングによる結晶育成炉内の熱アセスメント

〇村上 力輝斗^1,2、井上 憲司³、高田 順正⁴、糸井 椎香²、吉川 彰^1,2,3 (1.東北大金研、2.㈱C&A、3.東北大NICHe、4.東北大工)

キーワード：

サロゲートモデル、有限要素法、単結晶育成

良質なバルク結晶育成のための炉内熱環境の熱流体シミュレーションにおいて、従来、モデルと実際の結晶育成炉内の差異ゆえに計算の信頼性が損なわれることが課題とされてきた。これに対し本研究では、結晶育成プロセスにおける不確かさを包含したサロゲートモデリングを行うことで、炉内環境をより正確に再現するシステムの構築を行った。