講演情報

[A1433-1am-05]ミスト化学気相成長法を用いたZr系金属有機構造体の薄膜合成

○中山 亮1、青島 奨1、簾 智仁1、一杉 太郎1 (1. 東大院理)

キーワード:

金属有機構造体、薄膜、ミスト化学気相成長法