[B1325-1vn] 受賞講演・特別講演

15:55 〜 16:25日本語技術進歩賞受賞講演

[B1325-1vn-01] 厚膜・高アスペクト比パターニングを可能にする感光性ポリイミドの開発

○成清 颯斗¹、宮尾 将¹ (1. 東レ（株）)

キーワード：

フォトリソグラフィ、感光性材料、ポリイミド、光反応、パターニング