[P2-2pm] 06. 分析化学

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[P2-2pm-02] フッ化アルキル鎖修飾シリコンウェハ表面へのPTFE粒子付着解析

○仙波 祐太¹、Yao Li²、火原 彰秀¹ (1. 東京科学大学、2. 東北大多元研)

キーワード：

PTFE、フッ化アルキル鎖、表面自由エネルギー