[S4] S4.界面ナノ構造と機能の材料科学(1)

15:55 〜 16:10

[S4.7] 超⾼圧⾼温下でアルミナ基板上に成膜された遷移⾦属⼆窒化物薄膜の膜性状

*丹羽 健¹、東 源大¹、佐々木 拓也¹、長谷川 正¹ (1. 名古屋大工)

キーワード：

超高圧合成、遷移金属二窒化物、ダイヤモンドアンビルセル

超⾼圧合成⼿法を⽤いて66 GPaでアルミナ基板上に多結晶CrN2薄膜を合成した．その過程を超⾼
圧⾼温その場XRD測定およびラマン測定，回収試料のSEM-EDSおよびEBSD-SEMにより評価し
た．