[P] P83~P111

[P98] Ti-Al系コンビネーションスクリーンを⽤いたプラズマ窒化に及ぼすスクリーン線径の影響

*中塚 裕¹、星山 康洋²、丸岡 智樹³ (1. 関西大学（院生）、2. 関西大学、3. 京都市産業技術研究所)

キーワード：

プラズマ窒化、表面改質処理、ステンレス鋼、Ti-Al-N、窒素拡散層

従来の窒化法である直流プラズマ窒化処理に、スクリーン線径の異なるTi-Al系コンビネーションスクリーンを⽤いてステンレス鋼を窒化することでTi-Al-N層と窒素拡散層の形成に及ぼすスクリーン線径の影響を調査した。