講演情報

[153]高周波マグネトロン放電Heプラズマ処理を活用したTi材料への表面硬化層の形成

*平野 満大1、大津 直史1 (1. 北見工大)

キーワード:

Heプラズマ、マグネトロン放電、照射硬化

本研究では高周波マグネトロンHeプラズマを活用することで照射硬化現象を誘発させ、表面硬度層形成を試みた。結果として、厚さ8μmの改質層が形成され、ビッカース硬度は未処理材の約4倍に向上した。

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