[G] 水素・電池関連材料

13:15 〜 13:30

[29] PdAu水素感応層を有するプラズモン積層膜における水素応答

*柴田 寿人¹、山根 治起¹ (1. 秋田県産業技術センター)

キーワード：

水素感応、PdAu膜、表面プラズモン、スパッタ薄膜

表面プラズモンを適用した水素センサの開発を行っている。本研究では、水素の検出性能向上を目指し、高い水素応答と化学的な安定性が期待できるPdAu合金膜を水素感応層としたプラズモンセンサについて検討を行った。