講演情報
[S7.5][基調講演] Naフラックス法におけるGaN結晶成長がGa-Na融液の電気抵抗に与える影響
*今西 正幸1、村上 航介1、宇佐美 茂佳1、森 勇介1 (1. 大阪大工)
キーワード：
GaN、Naフラックス法、Ga-Na融液、電気抵抗
本講演では，Naフラックス法によるGaN結晶成長をベースとしたGaN基板開発の状況に加え， Ga-Na融液中の窒素濃度や結晶成長速度のモニタリングのために，近年取り組んでいる電気抵抗測定について紹介する．
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